智能馬弗爐是一種主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備。它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個工藝流程，也可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。

 

　　如果智能馬弗爐出現了故障導致釬焊出現問題，會直接影響工件的質量與效果，下面簡單介紹一下如何排查該設備哪里漏氣及維修方法：

 

　　1、先有檢漏儀檢查是否漏氣，如果經檢過檢漏，真空規管處的保護閥門存在漏氣的問題，則更換該閥門。

 

　　2、查看軸承磨損情況，如果磨損嚴重，應更換該軸承。

 

　　3、如果經過檢查主閥閥桿密封、預抽閥、放氣閥、氣動球閥和爐門密封都存在不同程度的漏氣現象，則需要查看主閥閥桿密封、爐門大圈密封圈是否出現老化或者產生裂紋，如果有老化嚴重或者產生裂紋，就會導致漏氣，因此更換相應的密封圈。密封圈可以選用耐高溫、耐各種介質的氟橡膠材料的密封圈。

 

　　4、以上檢查如果不存在問題，接下來可以對熱電偶金屬封頭處進行檢漏，由于測漏的反應時間比較長，如果熱電偶金屬封頭附近存在非常微小的漏氣點，很容易被忽略。對此應采用一種特殊的方法：先用塑料袋將偶絲密封處包起來，再將氦氣通入塑料袋中進行檢漏。經上述方法的檢測，如果發現熱電偶自身密封處有漏氣現象，應更換新的熱電偶。

 

　　5、然后按照維修方案的規定對充氣組閥進行檢查，如果發現充氣組閥中的補氣閥存在漏氣問題，應將該閥門進行更換。